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    關于拓荊

    發展歷程

    2022
    2022年4月
    拓荊科技成功上市
    2021
    2021年12月
    全年設備出貨100臺
    客戶端總流片量>4600萬片
    完成HDP產品研發并進入關鍵客戶驗證
    2020
    2020年12月
    獲國際大廠先進制程重復訂單
    UV Cure研制成功,并出貨到客戶端
    客戶端總流片量超過1500萬片
    2020年11月
    “十三五”國家重大專項通過驗收
    整機累計出貨量超過100臺套
    2020年09月
    認定為“遼寧省企業技術中心”

    2019
    2019年12月
    泛半導體應用TFLITE研制成功
    2019年12月
    獲評國家知識產權示范企業
    2019年12月
    完成第四輪融資
    2019年10月
    獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
    2019年09月
    SACVD研制成功并出廠到客戶端
    2018
    首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
    2018年12月
    12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
    2018年10月
    2017
    首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
    2017年12月
    PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
    2017年10月
    完成第三輪融資
    2017年8月
    2016
    拓荊新廠投入使用
    2016年12月
    “十一五”國家重大專項通過驗收
    2016年4月
    首臺12英寸ALD出廠到客戶端
    2016年3月
    2015
    獲批“十三五”國家重大專項
    2015年12月
    完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
    2015年9月
    PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
    2015年3月
    2014
    獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
    2014年12月
    中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
    2014年8月
    完成公司首輪增資
    2014年5月
    2013
    PF-300T通過中芯國際產品線測試
    2013年12月
    首臺12寸PF-300銷售
    2013年5月
    2012
    推出12英寸多反應腔PF-300T設備
    2012年12月
    2011
    首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
    2011年10月
    獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
    2011年8月
    2010
    沈陽拓荊科技有限公司成立
    2010年4月
    • 微信公眾號
    COPYRIGHT 2022 拓荊科技股份有限公司 All RIGHTS RESERVED. 遼ICP備05007152號-1
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